薄膜生长

第一章相平衡和界面相
11相平衡
12元素和合金的相图
13固溶体的能量
14固溶体的组态脑
15界面相
16界面曲率半径的影响
17晶体表面能、界面能和黏附能
18固体表面张力的测定方法
19表面能对薄膜稳定性的影响
参考文献
第二章晶体和晶体表面的对称性
21晶体的对称性
211晶体的平移对称性(平移群)
212 14种布拉维点阵和7种晶系
213 32种点群
214 230种空间群
215群的基本概念
22晶体表面的对称性
221晶体表面的平移对称性
222 5种二维布拉维点阵和4种二维晶系
223 10种二维点群
224 l7种二维空间群
23晶面间距和晶列间距公式
231晶面间距公式
232晶列间距公式
24倒易点阵
241三维倒易点阵
242二维倒易点阵
243倒易点阵矢量和晶列、晶面的关系
参考文献
第三章晶体表面原子结构
31晶体表面的原子结构
32表面原子的配位数
33表面的台面-台阶-扭折(TLK)结构
34邻晶面上原子的近邻数
35晶体表面能的各向异性
36台阶和台面的粗糙化
参考文献
第四章再构表面和吸附表面
41再构表面和吸附表面结构的标记
42半导体再构表面结构
421Si(111)
422Si(001)
423Si(110)
424Ge(111)
425Ge(001)
426GeSi(111)
427GaAs(110)
428GaAs(001)
429GaAs(111)
43金属再构表面结构
44吸附表面结构
441物理吸附和化学吸附
442SI吸附表面
443Ge吸附表面
444GaAs酝吸附表面
445金属吸附表面
45表面相变
参考文献
第五章薄膜中的晶体缺陷
51密堆积金属申的点缺陷
511八面体间隙
512四面体间隙
52半导体中的点缺陷
521四面体间隙
522六角间隙
523点缺陷的崎变组态
524替代杂质原子
53表面点缺陷
54位错和层错
541面心立方金属中的位错和层错
542金刚石结构中的位错和层错
543闪锌矿结构中的位错和层错
544纤锌矿结构中的位错和层错
55孪晶界和其他面缺陷
参考文献
第六章外延薄膜中缺陷的形成过程
61晶格常数和热膨胀系数的影响
62异质外延薄膜中的应变
621外延薄膜的错配度
622异质外延薄膜中的应变
63外延薄膜中的错配位错
631产生错配位错的驱动力
632错配位错的成核和增殖
64岛状薄膜中的应变和错配位错
65外延薄膜中其他缺陷的产生
参考文献
第七章薄膜中的扩散
71扩散的宏观定律和微观机制
72短路扩散
73半导体晶体中的扩散
74短周期超晶格中的互扩散
75反应扩散
76表面扩散
761表面扩散的替代机制
762表面扩散系数
763增原子落下表面台阶的势垒
77表面扩散的实验研究方法
78电迁移
参考文献
第八章薄膜的成核长大热力学
81体相中均匀成核
82衬底上的非均匀成核
83成核的原于模型
84衬底缺陷上成核
85薄膜生长的三种模式
86薄膜生长三种模式的俄歇电子能谱(AES)分析
参考文献
第九章薄膜的成核长大动力学
91成核长大的热力学和动力学
92起始沉积过程的分类
93成核率
94临界晶核为单个原子时的稳定晶核密度
95临界晶核为多个原子时的稳定晶核密度
96成核长大动力学的透射电于显微镜研究
97合并过程和熟化过程的影响
98成核长大过程的计算机模拟
99厚膜的生长
参考文献
第十章金属薄膜的生长
101金属超薄膜的成核过程
102二维晶核的形貌
1021二维岛的分形生长
1022二维岛的枝晶状生长
1023二维岛的规则形状生长
103准二维逐层生长和再现的逐层生长
104表面剂对二维逐层生长的促进作用
105巨磁电阻金属膜的生长
1051巨磁电阻多层金属膜
1052巨磁电阻金属颗粒膜
106作为软X射线元件的周期性多层膜的生长及其热稳定性
参考文献
第十一章半导体薄膜的生长
111台阶流动和二维成核
112自组织量子线和量子点的形成
113双层台阶的形成
114超晶格的生长和化学组分突变界面的形成
115实际半导体薄膜的生长
1151半导体的一些性质
1152SiGa硅薄膜的生长
1153金刚百薄膜的生长
1154SiC薄膜的生长
1155BN薄膜的生长"
1156GaN刑薄膜的生长
1157AIN悯薄膜的生长
116非晶态薄膜的生长
1161非晶态的分类(非金属)
1162非晶态材料的原子结构
1163非晶态结构的计算机模拟
参考文献
第十二章氧化物薄膜的生长
121氧化物高温超导体薄膜
122氧化物磁性薄膜
1221超巨磁电阻氧化物薄膜
1222磁光和磁记录氧化物薄膜
123氧化物铁电薄膜
124氧化物介质薄膜
125氧化物导电薄膜
参考文献
第十三章薄膜中的分形
131分形的一些基础知识
1311规则几何图形的维数
1312规则分形和它们的分维
1313随机分形
1314随机分形维数的测定
1315标度不变性
132多重分形
1321规则的多重分形谱
1322多重分形谱F（a）的统计物理计算公式
1323随机多重分形谱只F（a）的计算
133薄膜中的一些分形现象
1331薄膜生长初期的分形
1332非晶态薄膜中的分形晶化
1333溶液薄膜中的晶体生长
1334其他薄膜中的分形生长
参考文献
第十四章薄膜的制备方法
141真空蒸发和分子束外延"
1411常规的真空蒸发
1412分子束外延
1413热壁生长
1414离子团束生长
142溅射和反应溅射
1421溅射
1422磁控溅射
1423离子束溅射
143化学气相沉积和金属有机化学气相沉积
1431化学气相沉积(CvD)
1432金属有机化学气相沉积(MOCvD)
1433原子层外延
144激光熔蒸(ablation)
145液相外延和固相外延
1451液相外延生长
1452固相外延生长
146有机薄膜生长
1461朗缪尔-布洛吉特(Langmuir-Blodgrtt)法
1462自组装单层膜(Self-assembled monolayer)
147化学溶液涂层法
参考文献
第十五章薄膜研究方法
151X射线衍射方法
1511研究晶体结构的衍射方法的物理基础
1512常规X射线衍射
1513双晶衍射和三轴晶衍射
1514外延薄膜的一些实验结果
1515全反射衍射方法
1516X射线吸收谱精细结构(XAFS)
152电子显微术
1521电子衍射
1522电子显微衍射衬度像
1523高分辨电子显微像
1524扫描电子显微术
1525电子全息术
153表面分析方法
1531反射高能电子衍射(RHEED)
1532低能电子衍射(LEED)
1533反射电子显微术(REM)和低能电子显微术(LEEM)
1534氦原子散射(HAS)
1535俄歇电子能谱(AES)
1536光电子能谱(PES)
1537二次离子质谱(SIMS)
1538场离子显微镜（FIM)
154扫描探针显微术(SPM)
1541扫描隧道显微术(STM)
1542原子力显微术(AFM)
1543其他扫描探针显微术
155离子束分析方法
156光学方法
1561反射光谱和吸收光谱
1562椭偏仪法
1563傅里叶变换红外光谱
1564拉曼光谱
1565光致发光（PL）谱和阴极射线发光（CL）谱