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简介
《基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究》介绍了采用MEMS技术、CMOS工艺和激光加工技术，设计并制作硅杯和悬臂梁两种结构的以纳米硅/单晶硅异质结为源极和漏极的MOSFETs脉象传感器的方法，阐述了纳米硅/单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的制作方法，以及采用人工神经网络处理脉象检测结果的方法。
目录
第1章 概述
1.1 引言
1.2 脉象传感器的分类和研究现状
1.3 MOSFET压力传感器的研究现状
1.4 纳米硅／单晶硅异质结研究现状
1.5 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感与检测系统的研究目的和意义
1.6 主要研究内容
第2章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计
2.1 MOSFETs硅脉象传感器的理论模型
2.2 MOSFETs硅脉象传感器的理论分析
2.3 半导体材料压阻效应基本理论
2.4 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计
2.5 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型
2.6 本章小结
第3章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺
3.1 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺
3.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构
3.3 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式
3.4 本章小结
第4章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的实验结果与讨论
4.1 纳米硅／单晶硅异质结p-MOSFET特性
4.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的静态特性研究
4.3 悬臂梁式纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试
4.4 纳米硅／单晶硅异质结MOSFE7s脉象传感器的温度特性
4.5 本章小结
第5章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测的系统设计与实测结果分析
5.1 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的概述
5.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计
5.3 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果
5.4 采用人工神经网络处理脉象检测结果
5.5 本章小结
结论
参考文献
后记
1.1 引言
1.2 脉象传感器的分类和研究现状
1.3 MOSFET压力传感器的研究现状
1.4 纳米硅／单晶硅异质结研究现状
1.5 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感与检测系统的研究目的和意义
1.6 主要研究内容
第2章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的理论分析与结构设计
2.1 MOSFETs硅脉象传感器的理论模型
2.2 MOSFETs硅脉象传感器的理论分析
2.3 半导体材料压阻效应基本理论
2.4 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器力敏结构设计
2.5 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器结构模型
2.6 本章小结
第3章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺
3.1 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器制作工艺
3.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器管芯性能检测封装结构
3.3 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器电源激励方式
3.4 本章小结
第4章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的实验结果与讨论
4.1 纳米硅／单晶硅异质结p-MOSFET特性
4.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的静态特性研究
4.3 悬臂梁式纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象传感器的测试
4.4 纳米硅／单晶硅异质结MOSFE7s脉象传感器的温度特性
4.5 本章小结
第5章 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测的系统设计与实测结果分析
5.1 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的概述
5.2 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统各功能模块的设计
5.3 纳米硅／单晶硅异质结MOSFETs脉象检测系统的脉象检测结果
5.4 采用人工神经网络处理脉象检测结果
5.5 本章小结
结论
参考文献
后记
基于MEMS技术的硅脉象传感与检测系统的研究
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