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简介
本书介绍了各种传感器的原理、特性及其应用技术。全书共有14章。第1章绪论,介绍了传感器的作用与定义、组成与分类、应用和发展以及传感与检测技术的基础知识;第2章介绍了传感器的基本特性;第3章~第12章从传感器的工作原理出发,分别介绍了电阻式、压电式、电容式、电感式、磁电式、光电式、气湿色半导体式、数字式、温度式、智能式等各类传感器的工作原理、性能、测量电路及应用;第13章介绍了传感器性能的测试与校准;第14章从系统的角度介绍了传感器的典型应用,使教材更具有实用性。
本书可作为高等院校测控技术及仪器、精密仪器与机械、工业自动化、计算机应用、机械电子工程、应用电子等专业的教科书或参考书,亦可供相关专业的研究生、教师及工程技术人员参考。
目录
第1章 绪论
1.1 传感器的作用及定义
1.2 传感器的分类
1.3 传感器的发展趋势
1.4 测量技术的基本知识
1.4.1 测量概论
1.4.2 测量误差与不确定度
第2章 传感器的基本特性
2.1 概述
2.2 传感器的静态标定与静态特性
2.2.1 静态标定
2.2.2 静态特性参数
2.3 传感器的动态特性
2.3.1 动态参数测试的特殊问题
2.3.2 传感器动态特性的分析方法及主要指标
2.3.3 传感器的数学模型
2.3.4 传递函数
2.3.5 频率响应函数
2.3.6 冲激响应函数
2.4 典型传感器的动态特性分析
2.4.1 典型传感器的频率响应
2.4.2 典型激励的传感器瞬态响应
2.4.3 相似原理
2.5 传感器不失真测量的条件
2.6 传感器的动态特性参数获取方法
2.7 动态误差修正
2.7.1 频域修正方法
2.7.2 时域修正方法
第3章 电阻式传感器
3.1 应变式传感器常用的弹性敏感元件
3.1.1 弹性圆柱
3.1.2 悬臂梁
3.1.3 弹性圆环
3.1.4 周边固支圆形平膜片
3.1.5 弹性筒
3.1.6 扭转圆柱
3.2 金属应变式传感器
3.2.1 电阻应变片
3.2.2 电阻应变片的温度误差及补偿
3.2.3 电阻应变片的信号调理电路
3.3 半导体压阻式传感器
3.3.1 半导体的压阻效应
3.3.2 晶向的表示方法
3.3.3 压阻系数
3.3.4 压阻式传感器
3.4 电阻应变仪
3.4.1 应变仪的分类及其特点
3.4.2 载波放大式应变仪的组成及工作原理
3.4.3 电标定及电标定桥
3.4.4 常用电阻应变仪主要电路的特点
第4章 压电式传感器
4.1 压电式传感器的工作原理
4.1.1 压电效应
4.1.2 压电常数和表面电荷的计算
4.1.3 压电元件的基本变形
4.2 压电材料
4.2.1 石英压电晶体
4.2.2 压电陶瓷
4.2.3 压电元件常用结构形式
4.3 压电式传感器的等效电路
4.4 压电式传感器的信号调节电路
4.4.1 电压放大器(阻抗变换器)
4.4.2 电荷放大器
4.5 压电式传感器的应用
4.5.1 压电式测力传感器
4.5.2 压电式加速度传感器
4.5.3 压电阻抗头
4.5.4 压电式压力传感器
4.6 引起压电式传感器测量误差的因素
第5章 电容式传感器
5.1 电容式传感器的工作原理及分类
5.2 电容式传感器的结构类型及主要特性
5.2.1 结构类型
5.2.2 电容式传感器的灵敏度及非线性
5.2.3 电容式传感器的等效电路
5.3 电容式传感器的测量电路
5.3.1 电桥电路
5.3.2 差动脉宽调制电路
5.3.3 运算放大器式电路
5.4 典型的电容式传感器
5.4.1 电容式压力传感器
5.4.2 电容式加速度传感器
5.5 电容式传感器的结构及抗干扰问题
5.5.1 温度变化对结构稳定性的影响
5.5.2 温度变化对介质介电常数的影响
5.5.3 绝缘问题
5.5.4 寄生电容的干扰与防止
5.6 硅电容式集成传感器
5.6.1 硅电容式集成压力传感器
5.6.2 硅电容式加速度传感器
第6章 电感式传感器
6.1 自感式电感传感器
6.1.1 工作原理
6.1.2 输出特性
6.1.3 测量电路
6.1.4 自感式电感传感器的应用
6.2 差动变压器式传感器
6.2.1 工作原理
6.2.2 结构类型和主要特性
6.2.3 差动变压器的测量电路
6.2.4 差动变压式传感器的应用
6.3 电涡流式传感器
6.3.1 工作原理
6.3.2 等效电路
6.3.3 测量电路
6.3.4 传感器的结构
6.3.5 电涡流传感器的应用
第7章 磁电式传感器
7.1 磁电感应式传感器
7.1.1 磁电式振动传感器的工作原理
7.1.2 典型结构
7.1.3 磁电式传感器的误差
7.1.4 磁电感应式传感器的应用
7.2 霍耳式传感器
7.2.1 霍耳效应
7.2.2 霍耳元件
7.2.3 霍耳元件的不等位电势和温度误差的补偿
7.2.4 集成霍耳传感器
7.2.5 应用
第8章 光电式传感器
8.1 光电测量基本知识
8.1.1 光源
8.1.2 光电效应
8.2 光电器件的特性
8.2.1 光谱灵敏度S(λ)
8.2.2 相对光谱灵敏度S_r(λ)
8.2.3 积分灵敏度S
8.2.4 通量阈ф_H
8.2.5 响应特性S_z(t)和时间常数τ
8.2.6 光电器件的频率特性S_r(f)
8.2.7 光照特性U(E_e)
8.2.8 光谱特性S_r(λ)
8.2.9 温度特性
8.2.10 伏安特性I(U)
8.3 光电器件
8.3.1 光电管器件
8.3.2 光敏电阻
8.3.3 光敏二极管
8.3.4 光敏晶体管
8.3.5 光电池
8.3.6 常用光电传感器及其应用
8.4 光电位置传感器(PSD)
8.4.1 PSD的工作原理
8.4.2 PSD的特性
8.4.3 PSD的应用
8.5 CCD图像传感器
8.5.1 CCD的结构及工作原理
8.5.2 CCD的应用(CCD固态图像传感器)
8.6 光纤传感器
8.6.1 光纤传感器基础
8.6.2 光纤传感器应用实例
第9章 气湿色敏传感器
9.1 气敏传感器
9.1.1 引言
9.1.2 气敏传感器的分类
9.1.3 半导体气敏传感器的工作原理及结构
9.1.4 其他气敏传感器
9.1.5 半导体气敏元件的主要特性参数
9.1.6 气敏传感器的应用
9.2 湿敏传感器
9.2.1 引言
9.2.2 湿敏传感器的主要特性参数
9.2.3 湿度传感器的分类
9.2.4 湿敏传感器的测量电路
9.3 色敏传感器
9.3.1 半导体色敏器件的结构与工作原理
9.3.2 半导体色敏传感器的颜色识别电路
第10章 数字式传感器
10.1 光栅传感器
10.1.1 光栅传感器的结构和工作原理
10.1.2 辨向原理
10.1.3 细分技术
10.2 编码器
10.2.1 光学编码器结构及工作原理
10.2.2 码制与码盘
10.2.3 二进制码与循环码的转换
10.2.4 应用
10.3 感应同步器
10.3.1 结构原理
10.3.2 信号处理方式
10.3.3 感应同步器位移测量系统
第11章 温度传感器
11.1 温度传感器的类型
11.2 热电阻
11.2.1 常用热电阻
11.2.2 热电阻测量电路
11.3 热敏电阻
11.3.1 热敏电阻的结构和特点
11.3.2 热敏电阻的温度特性
11.4 热电偶
11.4.1 热电效应及测温原理
11.4.2 热电偶的基本定律
11.4.3 热电偶的种类
11.4.4 热电偶的冷端温度补偿
11.4.5 热电偶的实用测温电路
11.4.6 温度测量的动态误差修正
11.5 集成温度传感器
11.5.1 PN结温度传感器
11.5.2 集成温度传感器
11.5.3 应用举例
11.6 其他类型温度传感器
11.6.1 热辐射式测温传感器
11.6.2 石英晶体温度传感器
11.6.3 光纤温度传感器
第12章 智能传感器
12.1 概述
12.2 集成智能传感器
12.2.1 智能传感器的初级形式
12.2.2 智能传感器的中级形式
12.2.3 智能传感器的高级形式
12.3 多传感器信息融合
12.3.1 曲面拟合法基本原理
12.3.2 二传感器信息融合的应用
12.4 人工神经网络在智能传感器中的应用
12.4.1 神经网络基本知识
12.4.2 前向网络
12.4.3 反馈网络
12.4.4 神经网络在智能传感器中的应用
第13章 传感器性能测试与校准
13.1 传感器静态标定的要求
13.1.1 静态标准条件
13.1.2 标定仪器设备的精度等级的确定
13.1.3 静态标定的方法
13.1.4 传感器静态标定实例
13.2 压力传感器及测压系统的标定
13.2.1 静态标定
13.2.2 测压系统的动态标定
13.3 测振传感器(振动测量仪器)校准
13.3.1 绝对标定法
13.3.2 比较标定法
13.3.3 互易法
13.4 力传感器校准
13.4.1 概述
13.4.2 基准测力机
13.4.3 标准测力机
13.4.4 标准测力计
13.5 温度传感器校准
13.5.1 概述
13.5.2 标准铂电阻
13.5.3 标准铂铑10-铂热电偶
13.5.4 校验设备
第14章 传感器的典型应用
14.1 传感器在航空航天中的应用
14.1.1 导航仪
14.1.2 在飞机自动驾驶仪及导航系统中的应用
14.1.3 在火箭发动机测试中的应用
14.2 传感器在兵器工业中的应用
14.2.1 在弹丸速度测量中的应用
14.2.2 在自动机运动参数测量中的应用
14.2.3 在兵器压力测量中的应用
14.3 传感器在公路交通系统中的应用
14.3.1 在交通管制及高速公路中的应用
14.3.2 传感器在汽车工业中的应用
14.4 传感器在工业自动化中的应用
14.5 传感器在机器人学中的应用
14.5.1 视觉传感器
14.5.2 听觉传感器
14.5.3 接近觉传感器
14.5.4 触觉传感器
1.1 传感器的作用及定义
1.2 传感器的分类
1.3 传感器的发展趋势
1.4 测量技术的基本知识
1.4.1 测量概论
1.4.2 测量误差与不确定度
第2章 传感器的基本特性
2.1 概述
2.2 传感器的静态标定与静态特性
2.2.1 静态标定
2.2.2 静态特性参数
2.3 传感器的动态特性
2.3.1 动态参数测试的特殊问题
2.3.2 传感器动态特性的分析方法及主要指标
2.3.3 传感器的数学模型
2.3.4 传递函数
2.3.5 频率响应函数
2.3.6 冲激响应函数
2.4 典型传感器的动态特性分析
2.4.1 典型传感器的频率响应
2.4.2 典型激励的传感器瞬态响应
2.4.3 相似原理
2.5 传感器不失真测量的条件
2.6 传感器的动态特性参数获取方法
2.7 动态误差修正
2.7.1 频域修正方法
2.7.2 时域修正方法
第3章 电阻式传感器
3.1 应变式传感器常用的弹性敏感元件
3.1.1 弹性圆柱
3.1.2 悬臂梁
3.1.3 弹性圆环
3.1.4 周边固支圆形平膜片
3.1.5 弹性筒
3.1.6 扭转圆柱
3.2 金属应变式传感器
3.2.1 电阻应变片
3.2.2 电阻应变片的温度误差及补偿
3.2.3 电阻应变片的信号调理电路
3.3 半导体压阻式传感器
3.3.1 半导体的压阻效应
3.3.2 晶向的表示方法
3.3.3 压阻系数
3.3.4 压阻式传感器
3.4 电阻应变仪
3.4.1 应变仪的分类及其特点
3.4.2 载波放大式应变仪的组成及工作原理
3.4.3 电标定及电标定桥
3.4.4 常用电阻应变仪主要电路的特点
第4章 压电式传感器
4.1 压电式传感器的工作原理
4.1.1 压电效应
4.1.2 压电常数和表面电荷的计算
4.1.3 压电元件的基本变形
4.2 压电材料
4.2.1 石英压电晶体
4.2.2 压电陶瓷
4.2.3 压电元件常用结构形式
4.3 压电式传感器的等效电路
4.4 压电式传感器的信号调节电路
4.4.1 电压放大器(阻抗变换器)
4.4.2 电荷放大器
4.5 压电式传感器的应用
4.5.1 压电式测力传感器
4.5.2 压电式加速度传感器
4.5.3 压电阻抗头
4.5.4 压电式压力传感器
4.6 引起压电式传感器测量误差的因素
第5章 电容式传感器
5.1 电容式传感器的工作原理及分类
5.2 电容式传感器的结构类型及主要特性
5.2.1 结构类型
5.2.2 电容式传感器的灵敏度及非线性
5.2.3 电容式传感器的等效电路
5.3 电容式传感器的测量电路
5.3.1 电桥电路
5.3.2 差动脉宽调制电路
5.3.3 运算放大器式电路
5.4 典型的电容式传感器
5.4.1 电容式压力传感器
5.4.2 电容式加速度传感器
5.5 电容式传感器的结构及抗干扰问题
5.5.1 温度变化对结构稳定性的影响
5.5.2 温度变化对介质介电常数的影响
5.5.3 绝缘问题
5.5.4 寄生电容的干扰与防止
5.6 硅电容式集成传感器
5.6.1 硅电容式集成压力传感器
5.6.2 硅电容式加速度传感器
第6章 电感式传感器
6.1 自感式电感传感器
6.1.1 工作原理
6.1.2 输出特性
6.1.3 测量电路
6.1.4 自感式电感传感器的应用
6.2 差动变压器式传感器
6.2.1 工作原理
6.2.2 结构类型和主要特性
6.2.3 差动变压器的测量电路
6.2.4 差动变压式传感器的应用
6.3 电涡流式传感器
6.3.1 工作原理
6.3.2 等效电路
6.3.3 测量电路
6.3.4 传感器的结构
6.3.5 电涡流传感器的应用
第7章 磁电式传感器
7.1 磁电感应式传感器
7.1.1 磁电式振动传感器的工作原理
7.1.2 典型结构
7.1.3 磁电式传感器的误差
7.1.4 磁电感应式传感器的应用
7.2 霍耳式传感器
7.2.1 霍耳效应
7.2.2 霍耳元件
7.2.3 霍耳元件的不等位电势和温度误差的补偿
7.2.4 集成霍耳传感器
7.2.5 应用
第8章 光电式传感器
8.1 光电测量基本知识
8.1.1 光源
8.1.2 光电效应
8.2 光电器件的特性
8.2.1 光谱灵敏度S(λ)
8.2.2 相对光谱灵敏度S_r(λ)
8.2.3 积分灵敏度S
8.2.4 通量阈ф_H
8.2.5 响应特性S_z(t)和时间常数τ
8.2.6 光电器件的频率特性S_r(f)
8.2.7 光照特性U(E_e)
8.2.8 光谱特性S_r(λ)
8.2.9 温度特性
8.2.10 伏安特性I(U)
8.3 光电器件
8.3.1 光电管器件
8.3.2 光敏电阻
8.3.3 光敏二极管
8.3.4 光敏晶体管
8.3.5 光电池
8.3.6 常用光电传感器及其应用
8.4 光电位置传感器(PSD)
8.4.1 PSD的工作原理
8.4.2 PSD的特性
8.4.3 PSD的应用
8.5 CCD图像传感器
8.5.1 CCD的结构及工作原理
8.5.2 CCD的应用(CCD固态图像传感器)
8.6 光纤传感器
8.6.1 光纤传感器基础
8.6.2 光纤传感器应用实例
第9章 气湿色敏传感器
9.1 气敏传感器
9.1.1 引言
9.1.2 气敏传感器的分类
9.1.3 半导体气敏传感器的工作原理及结构
9.1.4 其他气敏传感器
9.1.5 半导体气敏元件的主要特性参数
9.1.6 气敏传感器的应用
9.2 湿敏传感器
9.2.1 引言
9.2.2 湿敏传感器的主要特性参数
9.2.3 湿度传感器的分类
9.2.4 湿敏传感器的测量电路
9.3 色敏传感器
9.3.1 半导体色敏器件的结构与工作原理
9.3.2 半导体色敏传感器的颜色识别电路
第10章 数字式传感器
10.1 光栅传感器
10.1.1 光栅传感器的结构和工作原理
10.1.2 辨向原理
10.1.3 细分技术
10.2 编码器
10.2.1 光学编码器结构及工作原理
10.2.2 码制与码盘
10.2.3 二进制码与循环码的转换
10.2.4 应用
10.3 感应同步器
10.3.1 结构原理
10.3.2 信号处理方式
10.3.3 感应同步器位移测量系统
第11章 温度传感器
11.1 温度传感器的类型
11.2 热电阻
11.2.1 常用热电阻
11.2.2 热电阻测量电路
11.3 热敏电阻
11.3.1 热敏电阻的结构和特点
11.3.2 热敏电阻的温度特性
11.4 热电偶
11.4.1 热电效应及测温原理
11.4.2 热电偶的基本定律
11.4.3 热电偶的种类
11.4.4 热电偶的冷端温度补偿
11.4.5 热电偶的实用测温电路
11.4.6 温度测量的动态误差修正
11.5 集成温度传感器
11.5.1 PN结温度传感器
11.5.2 集成温度传感器
11.5.3 应用举例
11.6 其他类型温度传感器
11.6.1 热辐射式测温传感器
11.6.2 石英晶体温度传感器
11.6.3 光纤温度传感器
第12章 智能传感器
12.1 概述
12.2 集成智能传感器
12.2.1 智能传感器的初级形式
12.2.2 智能传感器的中级形式
12.2.3 智能传感器的高级形式
12.3 多传感器信息融合
12.3.1 曲面拟合法基本原理
12.3.2 二传感器信息融合的应用
12.4 人工神经网络在智能传感器中的应用
12.4.1 神经网络基本知识
12.4.2 前向网络
12.4.3 反馈网络
12.4.4 神经网络在智能传感器中的应用
第13章 传感器性能测试与校准
13.1 传感器静态标定的要求
13.1.1 静态标准条件
13.1.2 标定仪器设备的精度等级的确定
13.1.3 静态标定的方法
13.1.4 传感器静态标定实例
13.2 压力传感器及测压系统的标定
13.2.1 静态标定
13.2.2 测压系统的动态标定
13.3 测振传感器(振动测量仪器)校准
13.3.1 绝对标定法
13.3.2 比较标定法
13.3.3 互易法
13.4 力传感器校准
13.4.1 概述
13.4.2 基准测力机
13.4.3 标准测力机
13.4.4 标准测力计
13.5 温度传感器校准
13.5.1 概述
13.5.2 标准铂电阻
13.5.3 标准铂铑10-铂热电偶
13.5.4 校验设备
第14章 传感器的典型应用
14.1 传感器在航空航天中的应用
14.1.1 导航仪
14.1.2 在飞机自动驾驶仪及导航系统中的应用
14.1.3 在火箭发动机测试中的应用
14.2 传感器在兵器工业中的应用
14.2.1 在弹丸速度测量中的应用
14.2.2 在自动机运动参数测量中的应用
14.2.3 在兵器压力测量中的应用
14.3 传感器在公路交通系统中的应用
14.3.1 在交通管制及高速公路中的应用
14.3.2 传感器在汽车工业中的应用
14.4 传感器在工业自动化中的应用
14.5 传感器在机器人学中的应用
14.5.1 视觉传感器
14.5.2 听觉传感器
14.5.3 接近觉传感器
14.5.4 触觉传感器
传感器原理及应用
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