简介
目录
第1章 集成电路概述与发展趋势
1.1 集成电路材料概述
1.2 集成电路技术发展与材料应用趋势
参考文献
第2章 材料基因组技术发展和研究进展
2.1 材料基因组技术简介
2.2 材料基因组技术发展历程
2.3 材料基因组技术研究进展及机器学习在其中的应用
2.3.1 材料高通量实验技术研究进展
2.3.2 材料高通量计算技术研究进展
2.3.3 材料数据库技术研究进展
2.3.4 机器学习在材料基因组技术中的应用
参考文献
第3章 材料基因组技术在集成电路材料研发中的应用进展及前景
3.1 功能材料的研发进展及材料基因组技术的应用情况
3.1.1 新型存储材料
3.1.2 射频压电材料
3.1.3 高k介质材料
3.1.4 铁电、铁磁和多铁材料
3.2 工艺材料的发展趋势及材料基因组技术的应用前景
3.2.1 光刻材料
3.2.2 抛光材料
3.2.3 湿化学品
3.2.4 溅射靶材
3.2.5 MO源
参考文献
第4章 总结和展望
1.1 集成电路材料概述
1.2 集成电路技术发展与材料应用趋势
参考文献
第2章 材料基因组技术发展和研究进展
2.1 材料基因组技术简介
2.2 材料基因组技术发展历程
2.3 材料基因组技术研究进展及机器学习在其中的应用
2.3.1 材料高通量实验技术研究进展
2.3.2 材料高通量计算技术研究进展
2.3.3 材料数据库技术研究进展
2.3.4 机器学习在材料基因组技术中的应用
参考文献
第3章 材料基因组技术在集成电路材料研发中的应用进展及前景
3.1 功能材料的研发进展及材料基因组技术的应用情况
3.1.1 新型存储材料
3.1.2 射频压电材料
3.1.3 高k介质材料
3.1.4 铁电、铁磁和多铁材料
3.2 工艺材料的发展趋势及材料基因组技术的应用前景
3.2.1 光刻材料
3.2.2 抛光材料
3.2.3 湿化学品
3.2.4 溅射靶材
3.2.5 MO源
参考文献
第4章 总结和展望
集成电路材料基因组技术
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