简介
《普通高等教育"十一五"国家级规划教材?微纳检测技术》系统地介绍了微纳检测领域常用的技术、方法及系统（仪器）。《普通高等教育"十一五"国家级规划教材?微纳检测技术》共分8章，分别为微纳检测技术基础、光学干涉测试技术、微纳形貌检测技术、扫描探针显微镜、扫描电子显微镜、微纳坐标测量技术、微视觉测试技术和全息干涉技术。
目录
第1章 微纳检测技术基础
1.1 微纳米量级检测技术特点
1.2 常用检测技术
1.3 微纳尺度的溯源与基准传递
第2章 光学干涉测试技术
2.1 位移干涉检测技术
2.2 相移干涉检测技术
2.3 X射线干涉技术
2.4 白光干涉检测技术
第3章 微纳形貌检测技术
3.1 接触式轮廓仪
3.2 非接触式轮廓仪——光学式轮廓仪
第4章 扫描探针显微镜
4.1 扫描隧道显微镜
4.2 原子力显微镜
4.3 扫描近场光学显微镜
第5章 扫描电子显微镜
5.1 扫描电子显微镜
5.2 透射电子显微镜
5.3 环境扫描电子显微镜
第6章 微纳坐标测量技术
6.1 微纳坐标测量技术基础
6.2 微纳坐标测量仪器
6.3 微纳坐标测量仪器的研究进展
6.4 微纳坐标测量仪器传感测头的研究进展
第7章 微视觉测试技术
7.1 微视觉测试技术基础
7.2 微结构平面尺寸的视觉测试
7.3 微结构平面运动参数的视觉测试
第8章 全息干涉技术
8.1 全息干涉技术的发展历史
8.2 全息图的分类
8.3 传统全息技术的基本原理
8.4 数字全息技术
8.5 商业化仪器介绍
参考文献
1.1 微纳米量级检测技术特点
1.2 常用检测技术
1.3 微纳尺度的溯源与基准传递
第2章 光学干涉测试技术
2.1 位移干涉检测技术
2.2 相移干涉检测技术
2.3 X射线干涉技术
2.4 白光干涉检测技术
第3章 微纳形貌检测技术
3.1 接触式轮廓仪
3.2 非接触式轮廓仪——光学式轮廓仪
第4章 扫描探针显微镜
4.1 扫描隧道显微镜
4.2 原子力显微镜
4.3 扫描近场光学显微镜
第5章 扫描电子显微镜
5.1 扫描电子显微镜
5.2 透射电子显微镜
5.3 环境扫描电子显微镜
第6章 微纳坐标测量技术
6.1 微纳坐标测量技术基础
6.2 微纳坐标测量仪器
6.3 微纳坐标测量仪器的研究进展
6.4 微纳坐标测量仪器传感测头的研究进展
第7章 微视觉测试技术
7.1 微视觉测试技术基础
7.2 微结构平面尺寸的视觉测试
7.3 微结构平面运动参数的视觉测试
第8章 全息干涉技术
8.1 全息干涉技术的发展历史
8.2 全息图的分类
8.3 传统全息技术的基本原理
8.4 数字全息技术
8.5 商业化仪器介绍
参考文献
Micro-nano detection technology
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