简介
张涛所著的《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》主要讲述了压电薄膜与压电微型器件制备技术，主要内容分为引言、上篇、下篇和后记。在引言部分，对全书内容做了总体介绍。在上篇中，介绍了薄膜材料基础知识和基本制备方法，对当前国内压电薄膜的研究进展做了简单陈述，主要阐述高压电性PzT基三元系铁电薄膜PMnN—PZT的制备与表征。在下篇中，介绍了压电器件的分类和声学器件的基础知识与进展，主要阐述了薄膜体声波谐振器(FBAR)的理论仿真、模拟与性能优化方法。在后记部分，对全书内容进行了总结。
《压电薄膜材料与器件制备技术(材料科学与工程)》可作为声学、材料学、微电子学等相关专业研究生的教学参考用书，也可供声学、压电学、薄膜材料和微型机电器件研究领域的科研工作人员参考。
目录
引言
上篇 压电薄膜制备技术
第一章 压电薄膜基础理论
1.1 薄膜生长与薄膜结构
1.2 压电原理与铁电效应
参考文献
第二章 压电薄膜制备技术与进展
2.1 压电薄膜的制备方法
2.2 压电薄膜研究进展
2.3 压电薄膜性能表征
参考文献
第三章 三元系PMnN-PZT铁电薄膜的研究
3.1 铁电材料发展简介
3.2 三元系PMnN-PZT铁电材料特性
3.3 三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征
参考文献
下篇 薄膜压电器件制备技术
第四章 声学器件原理与应用
4.1 压电器件的分类
4.2 声学器件原理与应用
参考文献
第五章 薄膜体声波谐振器理论研究
5.1 薄膜体声波谐振器的研究进展与热点
5.2 传输矩阵法理论
5.3 薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟
参考文献
后记
上篇 压电薄膜制备技术
第一章 压电薄膜基础理论
1.1 薄膜生长与薄膜结构
1.2 压电原理与铁电效应
参考文献
第二章 压电薄膜制备技术与进展
2.1 压电薄膜的制备方法
2.2 压电薄膜研究进展
2.3 压电薄膜性能表征
参考文献
第三章 三元系PMnN-PZT铁电薄膜的研究
3.1 铁电材料发展简介
3.2 三元系PMnN-PZT铁电材料特性
3.3 三元系PMnN-PZT铁电薄膜制备与性能表征
参考文献
下篇 薄膜压电器件制备技术
第四章 声学器件原理与应用
4.1 压电器件的分类
4.2 声学器件原理与应用
参考文献
第五章 薄膜体声波谐振器理论研究
5.1 薄膜体声波谐振器的研究进展与热点
5.2 传输矩阵法理论
5.3 薄膜体声波谐振器理论仿真与模拟
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后记
压电薄膜材料与器件制备技术
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