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简介
《微纳米加工技术及其应用(第2版)》集作者多年来的实践经验与研究成果，并结合近年来国际上的最新发展，综合介绍了微纳米加工技术的基础，包括光学曝光技术、电子束曝光技术、聚焦离子束加工技术、扫描探针加工技术、微纳米尺度的复制技术、各种沉积法与刻蚀法图形转移技术、间接纳米加工技术与自组装纳米加工技术。对各种加工技术的介绍着重讲清原理，列举基本的_丁艺步骤，说明各种工艺条件的由来，并注意给出典型的工艺参数；充分分析了各种技术的优缺点及在应用过程中的注意事项；以大量图表与实例说明各种加工方法，避免烦琐的数学分析；并以专门一章介绍了微纳米加工技术在现代高新技术领域的应用，演示了如何灵活应用微纳米加工技术来推动这些领域的技术进步。
与国内外同类出版物相比，《微纳米加工技术及其应用(第2版)》的显著特点是将用于超大规模集成电路生产、微机电系统制造与纳米技术研究的微纳米加工技术进行综合介绍，并加以比较；首次将微纳米加工归纳为平面工艺、探针工艺和模型工艺3种主要类型，突出了微纳米加工与传统加工技术的不同之处。全书既注重基础知识又兼顾微纳米加工领域近年来的最新进展，并列举了大量参考文献与互联网链接网址，供读者进一步发掘详细信息与深入研究，因此不论是对初次涉足这一领域的大专院校的本科生或研究生，还是对已经有一定工作经验的专业科技人员，都具有很好的参考价值。
目录
第1章 绪论
1．1 微纳米技术与微纳米加工技术
1．2 微纳米加工技术的分类
1．3 本书的内容与结构
参考文献
第2章 光学曝光技术
2．1 引言
2．2 光学曝光方式与原理
2．2．1 掩模对准式曝光
2．2．2 投影式曝光
2．3 光学曝光的工艺过程
2．4 光刻胶的特性
2．4．1 光刻胶的一般特性
2．4．2 正型胶与负型胶的比较
2．4．3 化学放大胶
2．4．4 特殊光刻胶
2．5 光学掩模的设计与制作
2．6 短波长曝光技术
2．6．1 深紫外曝光技术
2．6．2 极紫外曝光技术
2．6．3 x射线曝光技术
2．7 大数值孔径与浸没式曝光技术
2．8 光学曝光分辨率增强技术
2．8．1 离轴照明技术
2．8．2 空间滤波技术
2．8．3 移相掩模技术
2．8．4 光学邻近效应校正技术
2．8．5 面向制造的掩模设计技术
2．8．6 光刻胶及其工艺技术
2．8．7 二重曝光与加工技术
2．9 光学曝光的计算机模拟技术
2．9．1 部分相干光成像理论
2．9．2 计算机模拟软件c0MPARE
2．9．3 光学曝光质量的比较
2．10 其他光学曝光技术
2．10．1 近场光学曝光技术
2．10．2 干涉曝光技术
2．10．3 无掩模光学曝光技术
2．10．4 激光三维微成型技术
2．10．5 灰度曝光技术
2．11 厚胶曝光技术
2．11．1 传统光刻胶
2．11．2 SU一8光刻胶
2．12 LIGA技术
2．12．1 用于LIGA的x射线光源
2．12．2 x射线UIGA掩模
2．12．3 用于x射线LIGA的厚胶及其工艺
2．12．4 影响x射线uGA图形精度的因素
参考文献
第3章 电子束曝光技术
3．1 引言
3．2 电子光学原理
3．2．1 电子透镜
3．2．2 电子枪
3．2．3 电子光学像差
3．3 电子束曝光系统
3．4 电子束曝光图形的设计与数据格式
3．4．1 设计中的注意事项
3．4．2 中间数据格式
3．4．3 Aut0CAD数据格式
3．4．4 机器数据格式
3．5 电子束在固体材料中的散射
3．6 电子束曝光的邻近效应及其校正
3．7 低能电子束曝光
3．8 电子束抗蚀剂及其工艺
3．8．1 高分辨率电子束抗蚀剂
3．8．2 化学放大抗蚀剂
3．8．3 特殊显影工艺
3．8．4 多层抗蚀剂工艺
3．9 电子束曝光的极限分辨率
3．10 电子束曝光的计算机模拟
3．11 特殊电子束曝光技术
3．11．1 变形束曝光
3．11．2 电子束投影曝光
3．11．3 多电子束曝光
3．11．4 微光柱系统曝光
参考文献
第4章 聚焦离子束加工技术
4．1 引言
4．2 液态金属离子源
4．3 聚焦离子束系统
4．4 离子在固体材料中的散射
4．5 聚焦离子束加工原理
4．5．1 离子溅射
4．5．2 离子束辅助沉积
4．6 聚焦离子束加工技术的应用
4．6．1 审查与修改集成电路芯片
4．6．2 修复光学掩模缺陷
4．6．3 制作透射电镜样品
4．6．4 多用途微切割工具
4．7 聚焦离子束曝光技术
4．8 聚焦离子束注入技术
参考文献
第5章 扫描探针加工技术
5．1 引言
5．2 扫描探针显微镜原理
5．3 抗蚀剂曝光加工
5．3．1 STM曝光
5．3．2 NSOM曝光
5．4 局部氧化加工
5．5 添加式纳米加工
5．5．1 扫捕探针场致沉积
5．5．2 扫描探针点墨法光刻
5．6 抽减式纳米加工
5．6．1 电化学刻蚀加工
5．6．2 场致分解加工
5．6．3 热力压痕法加工
5．6．4 机械划痕法加工
5．7 高产出率扫描探针加工
参考文献
第6章 复制技术
第7章 沉积法图形转移技术
第8章 刻蚀法图形转移技术
第9章 间接纳米加工技术
第10章 自组装纳米加工技术
第11章 微纳米加工技术的应用
索引
结束语
1．1 微纳米技术与微纳米加工技术
1．2 微纳米加工技术的分类
1．3 本书的内容与结构
参考文献
第2章 光学曝光技术
2．1 引言
2．2 光学曝光方式与原理
2．2．1 掩模对准式曝光
2．2．2 投影式曝光
2．3 光学曝光的工艺过程
2．4 光刻胶的特性
2．4．1 光刻胶的一般特性
2．4．2 正型胶与负型胶的比较
2．4．3 化学放大胶
2．4．4 特殊光刻胶
2．5 光学掩模的设计与制作
2．6 短波长曝光技术
2．6．1 深紫外曝光技术
2．6．2 极紫外曝光技术
2．6．3 x射线曝光技术
2．7 大数值孔径与浸没式曝光技术
2．8 光学曝光分辨率增强技术
2．8．1 离轴照明技术
2．8．2 空间滤波技术
2．8．3 移相掩模技术
2．8．4 光学邻近效应校正技术
2．8．5 面向制造的掩模设计技术
2．8．6 光刻胶及其工艺技术
2．8．7 二重曝光与加工技术
2．9 光学曝光的计算机模拟技术
2．9．1 部分相干光成像理论
2．9．2 计算机模拟软件c0MPARE
2．9．3 光学曝光质量的比较
2．10 其他光学曝光技术
2．10．1 近场光学曝光技术
2．10．2 干涉曝光技术
2．10．3 无掩模光学曝光技术
2．10．4 激光三维微成型技术
2．10．5 灰度曝光技术
2．11 厚胶曝光技术
2．11．1 传统光刻胶
2．11．2 SU一8光刻胶
2．12 LIGA技术
2．12．1 用于LIGA的x射线光源
2．12．2 x射线UIGA掩模
2．12．3 用于x射线LIGA的厚胶及其工艺
2．12．4 影响x射线uGA图形精度的因素
参考文献
第3章 电子束曝光技术
3．1 引言
3．2 电子光学原理
3．2．1 电子透镜
3．2．2 电子枪
3．2．3 电子光学像差
3．3 电子束曝光系统
3．4 电子束曝光图形的设计与数据格式
3．4．1 设计中的注意事项
3．4．2 中间数据格式
3．4．3 Aut0CAD数据格式
3．4．4 机器数据格式
3．5 电子束在固体材料中的散射
3．6 电子束曝光的邻近效应及其校正
3．7 低能电子束曝光
3．8 电子束抗蚀剂及其工艺
3．8．1 高分辨率电子束抗蚀剂
3．8．2 化学放大抗蚀剂
3．8．3 特殊显影工艺
3．8．4 多层抗蚀剂工艺
3．9 电子束曝光的极限分辨率
3．10 电子束曝光的计算机模拟
3．11 特殊电子束曝光技术
3．11．1 变形束曝光
3．11．2 电子束投影曝光
3．11．3 多电子束曝光
3．11．4 微光柱系统曝光
参考文献
第4章 聚焦离子束加工技术
4．1 引言
4．2 液态金属离子源
4．3 聚焦离子束系统
4．4 离子在固体材料中的散射
4．5 聚焦离子束加工原理
4．5．1 离子溅射
4．5．2 离子束辅助沉积
4．6 聚焦离子束加工技术的应用
4．6．1 审查与修改集成电路芯片
4．6．2 修复光学掩模缺陷
4．6．3 制作透射电镜样品
4．6．4 多用途微切割工具
4．7 聚焦离子束曝光技术
4．8 聚焦离子束注入技术
参考文献
第5章 扫描探针加工技术
5．1 引言
5．2 扫描探针显微镜原理
5．3 抗蚀剂曝光加工
5．3．1 STM曝光
5．3．2 NSOM曝光
5．4 局部氧化加工
5．5 添加式纳米加工
5．5．1 扫捕探针场致沉积
5．5．2 扫描探针点墨法光刻
5．6 抽减式纳米加工
5．6．1 电化学刻蚀加工
5．6．2 场致分解加工
5．6．3 热力压痕法加工
5．6．4 机械划痕法加工
5．7 高产出率扫描探针加工
参考文献
第6章 复制技术
第7章 沉积法图形转移技术
第8章 刻蚀法图形转移技术
第9章 间接纳米加工技术
第10章 自组装纳米加工技术
第11章 微纳米加工技术的应用
索引
结束语
Micro-nanofabrication technologies and applications
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