简介
本书是作者在数年来对氮化碳薄膜的制备及成分、结构、性能测试的研究基础上撰写的，比较系统的介绍氮化碳薄膜制备和表征方面的相关知识，全书共分9章，内容包括氮化碳薄膜的常见制备方法、薄膜的表面分析和测试技术、氮化碳薄膜的沉积速率和表面形貌、氮化碳薄膜的X光电子能谱研究、氮化碳薄膜的光学性质、力学性质和电学性质等。 本书可供薄膜制备领域的科技工作者参考，也可作为高等院校相关专业的本科生和研究生的参考书。
目录
氮化碳薄膜的制备与表征
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