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简介
本书讨论以半导体激光器为光源的干涉理论及在几
何量测量中的应用技术，全书共八章。以半导体激光器体
积小，重量轻、输出光可调谐、易集成等优点为基础所形
成的半导体激光干涉技术，为实现许多物理量的高精度、
非接触、在线测量提供可能。本书作为半导体激光干涉理
论及其应用技术的系统总结，详细介绍有关的理论基础、
可能出现问题的具体解决方法，详细讨论了利用各种输
出光调谐方式进行几何量干涉测量的理论及技术。
本书所讨论的内容基本上反映了近年来该领域的主
要成就，涉及到了几何量测量的大部分内容，有广泛的适
用性，可以作为从事精密仪器、光学仪器以及其他仪器仪
表研究、应用的专业技术人员的参考书，对从事机械制
造、航天航空、电子工业等领域的有关人员也一定会有较
大的帮助。
目录
第一章 绪论
1.1 激光干涉测量原理
1.2 半导体激光干涉同其他光干涉的比较
1.3 半导体激光干涉技术的分类
参考文献
第二章 半导体激光调制相干理论
2.1 LD的调制理论
2.2 频率调制LD的相干原理
2.3 LD的调制驱动方法
第三章 影响干涉的半导体激光器特性
3.1 LD温度特性及控制方法
3.2 LD输出光束特性和改善方法
3.3 LD的稳频特性及稳频方法
第四章 线性调制干涉
4.1 线性调制LD外差干涉技术
4.2 参考技术
4.3 傅里叶变换技术处理干涉信号
4.4 多光束干涉技术
第五章 正弦调制干涉
5.1 声光调制准外差LD干涉技术
5.2 压电陶瓷驱动准外差调制干涉技术
5.3 波长偏移外差LD干涉技术
5.4 双相位调制外差LD干涉技术
5.5 正弦调制外差干涉表面轮廓测量
第六章 多波长干涉
6.1 小数条纹确定长度的基本原理
6.2 小数重合法外差干涉技术
6.3 双波长合成波长干涉
6.4 LD双波长合成波长稳定性分析
6.5 多模LD的三波长干涉技术
第七章 外腔谐振干涉
7.1 单模LD外腔谐振测量方法
7.2 双LD外腔谐振测量方法
7.3 多模LD外腔谐振测量方法
第八章 全息光栅干涉
8.1 全息光栅干涉位移测量原理
8.2 全息光栅干涉型触针传感原理
1.1 激光干涉测量原理
1.2 半导体激光干涉同其他光干涉的比较
1.3 半导体激光干涉技术的分类
参考文献
第二章 半导体激光调制相干理论
2.1 LD的调制理论
2.2 频率调制LD的相干原理
2.3 LD的调制驱动方法
第三章 影响干涉的半导体激光器特性
3.1 LD温度特性及控制方法
3.2 LD输出光束特性和改善方法
3.3 LD的稳频特性及稳频方法
第四章 线性调制干涉
4.1 线性调制LD外差干涉技术
4.2 参考技术
4.3 傅里叶变换技术处理干涉信号
4.4 多光束干涉技术
第五章 正弦调制干涉
5.1 声光调制准外差LD干涉技术
5.2 压电陶瓷驱动准外差调制干涉技术
5.3 波长偏移外差LD干涉技术
5.4 双相位调制外差LD干涉技术
5.5 正弦调制外差干涉表面轮廓测量
第六章 多波长干涉
6.1 小数条纹确定长度的基本原理
6.2 小数重合法外差干涉技术
6.3 双波长合成波长干涉
6.4 LD双波长合成波长稳定性分析
6.5 多模LD的三波长干涉技术
第七章 外腔谐振干涉
7.1 单模LD外腔谐振测量方法
7.2 双LD外腔谐振测量方法
7.3 多模LD外腔谐振测量方法
第八章 全息光栅干涉
8.1 全息光栅干涉位移测量原理
8.2 全息光栅干涉型触针传感原理
Theory and application of interferometry using laser diode
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