简介
材料物理是物理学与材料科学的一个交叉学科,是材料科学的重要分支。由于不同高校材料物理专业的人才培养方向有所不同,由于该行业技术革新迅速,因此通过英文论文和专利等了解该行业的*进展等较为必要,另外,很多进口镀膜设备的操作说明和界面等均为英文。在此背景下,我们教研室组织编写了面向微电子及光电等行业的材料物理专业英语。主要包括七章,分别包括材料科学基础、等离子体、真空技术、薄膜沉积、器件制备工艺、专业文献阅读(科技论文、专利、设备操作说明书)、科技论文写作等部分。
目录
Unit 1 Basis of Materials Science
1.1 Introduction
1.2 Materials Science and Engineering
1.3 Classification of Materials
1.4 Advanced Materials
1.5 Microstructure characterization of Materials
Unit 2 Plasmas
2.1 DC Glow Discharge
2.2 RF Discharges
2.3 High-Density Plasmas
Unit 3 Vacuum Technology
3.1 Pressure Ranges and Vacuum Pumps
3.2 Vacuum Seals and Pressure Measurement
Unit 4 Thin Film Deposition
4.1 Physical Deposition
4.2 Chemical Deposition
4.3 Epitaxial Growth
Unit 5 Devices Fabrication Process
5.1 Introduction
5.2 Ion implantation
5.3 Photolithography
5.4 Etch
5.5 Metallization
5.6 Process Integration
Unit 6 Reading Practice
6.1 Paper
6.2 Patent
6.3 Manual Guide
Unit 7 Writing Practice
7.1 Structure of Paper
7.2 Example 1
7.3 Example 2
【编辑推荐】
由于材料物理领域技术革新迅速,因此通过英文论文和专利等了解该行业的**进展等较为必要。本书提供了这样一个窗口。
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