简介
目录
书名页 1
( CIP) 数据 2
版权页 2
内容提要 3
前言 4
目录 7
第一章容栅传感器概述 9
第一节容栅传感器的定义 9
第二节容栅传感器的发展 10
第三节容栅传感器的测量电路 21
第二章容栅传感器有限元法分析 31
第一节引言 31
第二节梳状电容传感器建模 33
第三节梳状电容传感器模型的改进 51
第四节系列电极式电容传感器建模 63
第三章容栅传感器谐波法分析 73
第一节等效电路 73
第二节激励信号 76
第三节工作电容 87
第四节输出电荷 89
第五节输出电压 93
第六节反射电极的改进 95
第四章容栅传感器优化设计 97
第一节引言 97
第二节性能指标 98
第三节优化算法 103
第四节梳状电容传感器优化设计 109
第五节系列电极式电容传感器优化设计 118
第五章容栅传感器误差分析 124
第一节引言 124
第二节误差测试 124
第三节误差分析( 2) 鉴相误差 128
第四节误差建模 132
第五节误差修正 138
第六章容栅传感器应用 145
第一节容栅式数显卡尺智能接口 145
第二节容栅式数显机床标尺 149
第三节容栅式数显沟槽测量仪 153
参考文献 161
( CIP) 数据 2
版权页 2
内容提要 3
前言 4
目录 7
第一章容栅传感器概述 9
第一节容栅传感器的定义 9
第二节容栅传感器的发展 10
第三节容栅传感器的测量电路 21
第二章容栅传感器有限元法分析 31
第一节引言 31
第二节梳状电容传感器建模 33
第三节梳状电容传感器模型的改进 51
第四节系列电极式电容传感器建模 63
第三章容栅传感器谐波法分析 73
第一节等效电路 73
第二节激励信号 76
第三节工作电容 87
第四节输出电荷 89
第五节输出电压 93
第六节反射电极的改进 95
第四章容栅传感器优化设计 97
第一节引言 97
第二节性能指标 98
第三节优化算法 103
第四节梳状电容传感器优化设计 109
第五节系列电极式电容传感器优化设计 118
第五章容栅传感器误差分析 124
第一节引言 124
第二节误差测试 124
第三节误差分析( 2) 鉴相误差 128
第四节误差建模 132
第五节误差修正 138
第六章容栅传感器应用 145
第一节容栅式数显卡尺智能接口 145
第二节容栅式数显机床标尺 149
第三节容栅式数显沟槽测量仪 153
参考文献 161
容栅传感器的研究与应用
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