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简介
本书是围绕国家攀登计划B“微电子机械系统”项目，并适当加以展开而编写的一本科普读物。斗导体传感器利用斗导体性质将外部环境信息转换成电信号，是一种获取、处理和执行信息的集成器件。用微电子技术和微机械技术，可以制造出毫米尺寸、只有蚂蚁般大小的半导体传感器和微电子机械系统。本书深入浅出地介绍了国际上斗导体传感器和微电子机械系统当前的发展水平，扼要介绍了我国科学家在攀登计划项目“微电子机械系统”中的研究成果以及今后国内外这一领域的发展趋势。
目录
1 概论
1．1传感器的作用与地位
1．2传感器的技术发展
1．3平面工艺简介
2 半导体传感器工作原理、结构与特性
2．1硅材料与硅传感器
2．2半导体光敏传感器
2．3半导体力学量传感器
2．4半导体磁敏传感器
2．5半导体温度传感器
2．6场效应管敏感器件
2．7集成传感器
2．8发展现状与趋势
3 微电子机械系统
3．1电子机械系统与微电子机械系统
3．2微机械执行器与微电子机械系统的发展
3．3微机械加工技术
3．4微机械执行器
3．5微电子机械系统（MEMS）
3．6微电子机械系统的发展趋势
4 国家攀登计划“微电子机械系统”研究成果
4．1微马达
4．2微电子机械系统
4．3技术和材料
4．4小结和展望
一、在工业生产控制系统中的应用
附 应用举例
二、在汽车和船舶中的应用
三、在安全、防火方面的应用
四、在电力测量中的应用
五、在家用电器中的应用
六、在医学中的应用
七、在纺织行业中的应用
八、在显示器及数码相机中的应用
九、在尖端武器中的应用
小词典
Semiconductor sensors and micro electro mechanical systems
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