纳米制造
作者： 何丹农编著
出版社：华东理工大学出版社,2011
简介：本书首先介绍了纳米技术及纳米制造的基本知识与背景，后从多个方面介绍了纳米材料的规模化制造加工方法与原理、纳米结构器件及其批量化制造加工、封装技术等，并例举了多个纳米加工技术的实验案例。全书共分五章， 第1章主要介绍纳米技术、纳米材料基本知识、纳米制造的基本定义等内容；第2章主要通过不同的纳米制造原理介绍了多种纳米材料、纳米结构及器件的加工方法；第3章主要从自上而下、自下而上以及二者混合的角度，介绍了多种纳米材料、纳米结构及器件的纳米制造技术；第4章介绍了纳米器件封装与装配技术；第5章具体介绍了纳米机械电子系统、纳米压印、纳米超光滑加工等纳米制造技术。
