聚焦离子束微纳加工技术

作者：  顾文琪，马向国，李文萍著

出版社：北京工业大学出版社,2006

简介： 本书系统地介绍了聚焦离子束技术的原理、发展历史、系统分类和组成、重要分系统的设计、重要的应用实例和发展前景。为了使读者有更多的了解，还介绍了国外先进的商品型FIB系统的性能指标。本书是电子束、离子束、光子束微纳加工技术系列专著之一，可以作为从事微纳加工和半导体集成电路制造行业的研究人员和工程技术人员的技术参考书，也可以作为高等院校相应专业教师和研究生的参考书。