集成电路制程设计与工艺仿真
作者： 刘睿强，袁勇，林涛编著
出版社：电子工业出版社,2011
简介： 刘睿强，袁勇，林涛编著的这本
《集成电路制程设计与工艺仿真》介绍当代集成电路设计的系统级前端、
布局布线后端及工艺实现三大环节所构成的整体技术的发展，重点着眼于
集成电路工艺过程的计算机仿真和计算机辅助设计，以及具体的工具软件
和系统的使用。全书共12章，主要内容包括：常规集成平面工艺、集成工
艺原理概要、超大规模集成工艺、一维工艺仿真综述、工艺仿真交互设置
、工艺仿真模型设置、工艺仿真模拟精度、一维工艺仿真实例、集成工艺
二维仿真、二维工艺仿真实现、现代可制造性设计、可制造性设计理念，
并提供电子课件和习题解答。
《集成电路制程设计与工艺仿真》可作为高等学校电子科学与技术、
微电子、集成电路设计等专业的教材，也可供集成电路芯片制造领域的工
程技术人员学习参考。
