微电子机械加工系统(MEMS)技术基础

作者：  孙以材，庞冬青编著

出版社：冶金工业出版社,2009

简介：本书中详细介绍了电学、热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法，为MEMS元件的设计和制造打下深厚的基础，从而使学习者能灵活应用所学知识完成各种功能的微电子元件和器件。 MEMS技术是21世纪发展的重大技术，涉及国防、航天、医疗等领域。本书以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的，阐述其功能，所依据的物理原理及定律。本书还详细介绍了电学，热学和力学有限元方法的要领，相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读本书，可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础，从而可以灵活应用所学知识。 本书可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读，也可供大专院校有关专业师生参考。