半导体薄膜光谱学
作者: 薛晨阳,张文栋等编著
出版社:科学出版社,2008
简介:光谱技术是研究半导体薄膜材料表面特性、界面特性与成膜质量的重要工具。本书主要介绍了半导体薄膜光谱学的理论基础和实验基础知识,从实验原理、实验装置、实验结果分析等方面详细介绍了拉曼光谱,光致发光和光调制反射几种实验方法,并结合一系列实验结果,具体分析了CuGase:薄膜的结构特性与光学特性。使读者能够全面、系统地了解半导体薄膜光谱技术的测试方法和分析方法。
本书详细介绍了光谱学的理论基础和实验基础,结合作者的一系列实验结果,系统地分析了拉曼光谱散射、光致发光、光调制反射等光谱学测试方法,并讨论了如何通过这些方法研究半导体薄膜的材料特性。全书分为6章:第1章介绍半导体薄膜及其生长方法;第2章介绍电磁辐射;第3章介绍光谱学主要仪器;第4章介绍光学表征方法;第5章介绍CuGaSe2薄膜结构和光学特性研究;第6章介绍拉曼光谱的扩展应用。