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真空镀膜
作者： 李云奇编著
出版社：化学工业出版社,2012
简介：本书共十一章，内容包涵了真空镀膜中物理基础，各种蒸发源与溅射靶的设计、特点、使用要求，各种真空镀膜方法以及薄膜的测量与监控，真空镀膜工艺对环境的要求等。
化学工业出版社,2012
