薄膜物理与技术[电子资源.图书]

作者：  杨邦朝,王文生编著

出版社：电子科技大学出版社,1994

简介：《高等学校教材?薄膜物理与技术》主要论述薄膜的制造技术与薄膜物理的基础内容，书中系统介绍了各种成膜技术的基本原理与方法，包括蒸发镀膜、溅射镀膜、离子镀、化学气相沉积、溶液制膜技术以及膜厚的测量与监控等，同时介绍了薄膜的的形成，薄膜的结构与缺陷，薄膜的电学性质、力学性质、半导体特性、磁学性质以及超导性质等，论述中注重基本概念的阐述，叙述尽量深入浅出，并注意到原理与技术相联系，理论与实践相结合。 《高等学校教材?薄膜物理与技术》为电子材料与元器件专业的规划教材，亦可作为物理电子技术、半导体物理与器件、应用物理等专业的教材或教学参考书，同时亦可供从事电子元器件、混合集成电路的工程技术人员参考使用。