微电子材料与器件制备技术

作者：  王秀峰，伍媛婷编

出版社：化学工业出版社,2008

简介：　　 本书以微电子材料为对象，以材料和器件的制备工艺为主线，系统、 　　全面地介绍了微电子材料与器件制备技术的前沿问题与进展。全书主要包 　　括微电子材料的分类及性能、微电子器件中材料的选择、不同微电子材料 　　与器件的加工工艺以及微电子材料的性能测试技术等。 　　 本书适合微电子材料与器件制备领域的工程技术人员、研发人员阅读 　　使用，也可作为高等院校材料科学与工程、电子科学与技术、化学工程、 　　机械设计与制造等专业师生的教学用书。