Princiole, design and analysis of MEMS

作者：  田文超著

出版社：西安电子科技大学出版社,2009

简介： 本书比较全面地介绍了MEMS的基本概念、常用材料、工作原理、分析方法、设计方法、加工工艺、表面特性、检测技术、主要应用以及COMSOL软件、MEMS仿真模块。本书的某些内容是作者在完成博士学位论文和博士后研究报告时所得到的结果，由于篇幅所限，有关推导过程和实验过程均作了省略。本书的编写目的既是为高年级本科生和研究生提供有关MEMS的基本知识，同时也为其进一步的MEMS研究打好基础。