微机电技术

作者：  田文超，娄利飞　编著

出版社：西安电子科技大学出版社 2014-8-1

简介：　　田文超、娄利飞编著的《微机电技术》系统地介 绍了微机电技术基本内容、分析方法和主要应用，包 括微机电系统概述、材料、工艺、典型器件、应用， RF MEMS及重构天线，MEMS力学问题等。书中包含大 量图、表，研究成果及相关结论，内容丰富。 本书可供高年级本科生和研究生使用，也可以作 相关工程技术人员及科技管理人员的参考书。