Research on ultraprecise positioning stage with gas-lubricated bearings:dynamics and control of the gas-lubricated system

作者：  陈学东，何学明，叶燚玺著

出版社：华中科技大学出版社,2008

简介：《超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制》主要内容：超精密定位工作台技术是集机械学、电子学、光学、计算机控制技术于一体的综合性技术，为IC制造技术、精密加工技术、精密测量技术等提供精密定位装置。《超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制》一书系统阐述了超精密气浮定位工作台中的气浮支承技术、系统动力学、超精密定位运动及其控制等基本理论与方法。 《超精密气浮定位工作台技术:气浮系统动力学与控制》一书的主要内容包括：超精密气浮支承技术和精密定位耳作台电磁直接驱动的基本理论和技术；超精密气浮支承的建模、有限元分析方法及其数值计算的理论与方法；超精密气浮定位工作冶的动力学建模及其动态特性分析；超精密定位工作台的定位运动分析及其控制方法研究。