微机电系统原理

作者：  （韩）李基邦　著，马晓军　等译

出版社：国防工业出版社 2014-4-1

简介：　　微机电系统（MEMS）技术研究主要针对微小系统，它在汽车、无线电话、数码相机以及医疗设备等方面都有着广泛的应用。李基邦编著的这本《微机电系统原理》通过作者研究以及参考其他有价值的文献，针对MEMS提出了统一法和封闭形式解方法，便于读者更好地理解MEMS中的线性和非线性问题，以及开展相关应用设计。　　全书共分九章，第一章为绪论部分，介绍了微机电系统的量纲分析法。第二章介绍了微制造技术。第三章为微机电系统在静力平衡条件下的静力学分析。第四章为微结构的静力性能分析。第五章为微机电系统动力学分析。第六章为微机电系统流体力学分析。第七章介绍MEMS设计中涉及的基于电磁学的基本方程。第八章和第九章介绍如何通过MEMS组件的组合设计具有特定功能的驱动器或传感器。