Semiconductor physics and tesing analysis
作者: 谭昌龙主编
出版社:哈尔滨工业大学出版社,2012
简介: 《电子与通信工程系列:半导体物理与测试分析》较全面地介绍了半导体物理与测试分析的基础知识。主要内容包括:半导体的基本性质;半导体中杂质和缺陷能级,以及硅中位错和层错的观察;平衡态半导体中载流子的统计分布,杂质浓度及其分布的测量技术;载流子在外电场作用下的运动规律,以及霍尔系数和电导率的测量方法;非平衡载流子的运动规律及它们的产生和复合机制,少数载流子寿命的测量;pn结形成的工艺过程及其电学特性,pn结势垒电容的测量。
《电子与通信工程系列:半导体物理与测试分析》可作为高等学校微电子学、电子科学与技术、应用物理等专业本科生的教材,也可供理工类相关专业的本科生、研究生及科技人员参考。