MEMS design and manufacture

作者：  刘晓明，朱钟淦编著

出版社：国防工业出版社,2006

简介：本书概要地介绍MEMS的设计与制造，全书共分7章，内容包括：MEMS的 概论，MEMS的设计，集成电路(IC)基本制造技术，MEMS的制造技术，微传感 器，微执行器以及MEMS的应用及检测技术。 本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通 过对本书的学习，使读者能够在集成电路制造技术方面，获得必要的知识， 同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解，为开展MEMS的研究奠定必 要的基础。