Semiconductor sensors and micro electro mechanical systems

作者：  王渭源主编

出版社：湖南科学技术出版社,1999

简介：本书是围绕国家攀登计划B“微电子机械系统”项目，并适当加以展开而编写的一本科普读物。斗导体传感器利用斗导体性质将外部环境信息转换成电信号，是一种获取、处理和执行信息的集成器件。用微电子技术和微机械技术，可以制造出毫米尺寸、只有蚂蚁般大小的半导体传感器和微电子机械系统。本书深入浅出地介绍了国际上斗导体传感器和微电子机械系统当前的发展水平，扼要介绍了我国科学家在攀登计划项目“微电子机械系统”中的研究成果以及今后国内外这一领域的发展趋势。