简介:本书译自德国斯普林格出版社2004年出版的“Silicon——Evolution and Future of a Technology”,作者P.Siffert等。系统介绍了硅——地壳中含量最丰富的元素的整个发展过程,所涉及的主要内容包括硅的基本物理性质、半导体晶体材料及工业用硅的研发历史、用于电子器件和光伏发电的多晶硅技术、硅外延、薄膜、多孔层和非晶硅技术的发展、硅在研究材料缺陷研究中的作用、硅掺杂特性、硅材料中杂质特性研究、半导体功率器件、硅补偿器件、集成电路、纳电子硅技术、纳米硅光刻技术、硅传感器等。