基于COMSOL Multiphysics的MEMS建模及应用
作者: 张玉宝,李强主编
出版社:冶金工业出版社,2007
简介: 本书介绍了应用COMSOL Multiphysies有限元软件建立MEMS模型的基本
方法和过程,并辅以典型MEMS建模实例,图文并茂。全书共分5章,第1章
概述了MEMS基本概念和有关COMSOL Multiphysies软件中MEMS建立模型的基
本过程;第2章以6个典型模型为蓝本,详细介绍了MEMS建模的一般方法;
第3、4、5章分别介绍了微传感器、微通道、微压电装置的MEMS建模方法和
过程。书中引用的模型实例均为有关领域专家、学者开发,具有高度的可
靠性。
本书可供MEMS研究人员和爱好者,以及高等院校相关专业师生阅读、
参考。